Auto306

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产品概述

Auto306真空镀膜系统能选配多种真空系统、真空腔室、蒸发镀膜附件，可满足研发实验室的各种需求。用户可选择单个热阻源，或多个蒸镀源，使得在不破坏真空环境的情况下进行多层膜的沉积。一系列的样品夹具、遮挡板、基板加热器、膜厚监测和控制可选择装配在Auto306上，以满足不同实验应用。

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品牌概述

HHV Ltd 成立于1960年,隶属于印度班加罗尔HHV Pvt., 是一家历史*悠久的薄膜和真空技术公司. 该公司拥有众多研究所,大学院校及工业生产客户。近年来,HHV Pvt成为Edwards的制造商,生产如Auto306, Auto500 和TF600 等现代薄膜沉积系统。.

应用领域

Auto306用于研究与开发

Auto能选配多种真空系统、真空腔室、蒸发镀膜附件，可满足研发实验室的各种需求。用户可选择单个热阻源，或多个蒸镀源，使得在不破坏真空环境的情况下进行多层膜的沉积。一系列的样品夹具、遮挡板、基板加热器、膜厚监测和控制可选择装配在Auto306上，以满足不同实验应用。

模块化的系统结构设计使得用户可在后期增加额外的工艺附件以强化Auto306的功能。

Auto306应用于电子显微镜

Auto306可选用一系列的工艺腔室、工艺附件、真空系统，为电子显微镜用户提供相关的样品制备技术满足*先进的透射电子显微镜和扫描电子显微镜的需要。

产品特点

Auto306可选择配置钟罩式玻璃腔室、圆柱形玻璃腔室，也可以配置通用的FL400前开门式不锈钢箱式腔室。FL400腔室具有额外的高度与宽度，适用于安装较多的工艺附件。
客户可选择的模块化工艺附件，包括热阻蒸发源及其控制电源、3kW EB3电子束蒸发源、遮挡板、基片夹具以及膜厚监控仪等。
真空系统由触屏PLC控制和监控，易于操作；高真空泵选择包括扩散泵、涡轮分子泵、冷凝泵，并使用油封或干式泵作为支持泵。集成的具有备用电池的高真空阀门可在意外情况时保护泵和样品。
特点和优势
触屏PLC自动控制真空系统
多种可选薄膜沉积源和电源
多种可选样品夹具
多种可选真空腔室
智能高真空阀门保护泵及样品
紧凑型设计，*小化空间占用
无需压缩空气
完整的**使用互锁保护

技术参数

极限真空

600 l/s 扩散泵：2×10E-7 mbar

500 l/s 涡轮泵：2×10E-7 mbar

255 l/s 涡轮泵：5×10E-7 mbar

抽真空时间

大气压到1×10E-5 mbar：4分钟

大气压到1×10E-6 mbar：25分钟

水冷机： 75l/h 15-20℃

液氮容积：1.4L

Auto306真空镀膜系统中国代理创世杰科技有限公司

网址: http://www.micropowergroup.com

邮件:bowenzhang@micropowergroup.com