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产品名称：

金刚石MPCVD系统

产品概述

微波等离子金刚石MPCVD系统具有高度可重复的真空完整性设计，能够在接近大气压范围内运行，用于高沉积速率的单晶化学气相沉积工艺。它还可以合成高纯度的高均匀性和大面积的单晶和多晶。


产品详细
微波和腔体系统
1.下入式微波馈入系统
2. 铝制碟形腔设计
3.*大功率10kW
4.钼生长台直径80mm,10x10晶种可以放24-28片
 测温以及控制系统
1. 双色红外测温仪
2. 电机控制可升降生长台
3. PLC控制系统和电脑终端控制软件

4. 全自动操作软件

真空以及气路系统
1. 4路流量计
1.1氢气：1000sccm
1.2 甲烷200sccm
1.3辅助气体流量计1：20sccm
1.4辅助气体流量计2：10sccm
2. 2路流量计预留
3. 工作压力：15-300Torr

4.真空漏率：<1x10-10Pam3/sec

连续工作时间：可达700小时