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产品名称:

真空回流炉

产品概述

REK**性地推出新一代可进入物联网智能制造的真空回流焊接系统. SC真空炉系列将研发平台的灵活与高效, 生产设备的高可靠性的设计相结合. 与REK一起参与下一场工业变革。REK与您分享数十年的封装技术经验 ,作为您可靠的合作伙伴并提供强大的技术支持


产品详细


REK团队拥有超过25年的行业经验,为客户提供经得起未来考验的真空回流炉。无论是小批量还是大批量生产,REK真空共晶系统都能实现无空洞焊接,并具有*大的过程控制灵活性、高产能和小占地面积。

应用

芯片封装(IGBT, 大功率LED,激光器巴条,MEMS,倒装芯片)

功率模组焊接

瞬时液相键合

晶圆级封装

晶圆回流焊

熔封焊

T/R组件

烧结

合金



SC-350的主要性能指标


加热板尺寸:400x 350 mm 

加热功率:21kW


标配*高温度为500℃, 可选*高1000℃(单晶圆工艺)
快速**温度控制,加热板升温速度可达270℃/分钟(空载),降温速度可达150℃/分钟(空载)。
触摸屏式图形用户界面不需要额外的电脑,基于Linux 的系统软件可以自动记录各种工艺数据
高气密性的真空腔室,通过适当的抽真空及高纯氮气回填的循环,腔室内O2含量可控制在1ppm以内
多种真空泵系统可选:油封旋片泵、无油干式泵、分子泵等
多种工艺气氛:N2、 HCOOH(N2载气)、N2/H2、纯氢
ArH2等离子体辅助工艺可选
腔室顶盖配有观察窗
适用多种回流工艺:无助焊剂、有助焊剂及焊膏(需配备助焊剂管理模块)
完善的系统状态监控及**互锁设计


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